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冷柜內(nèi)膽真空箱氦檢漏設(shè)備信息推薦「科儀創(chuàng)新真空」
2021-06-18






氦質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)展

經(jīng)過(guò)近半個(gè)世紀(jì)的努力,今天的氦質(zhì)譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。

集中體現(xiàn)在如下幾個(gè)方面:

(1)便攜式:近各國(guó)推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。

(2)高壓強(qiáng)下檢漏:檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右,對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。

(3)自動(dòng)化程度高:自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰,自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn),量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制,菜單的選擇功能,一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過(guò)程。

(4)全無(wú)油的干式檢漏:有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果,為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。

(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測(cè)氦氣,而且能檢測(cè)其它氣體。

分子泵排氣系統(tǒng)取代擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng),不僅解決了油蒸氣對(duì)質(zhì)譜室的污染問(wèn)題,而且對(duì)快速啟動(dòng)儀器和快速停機(jī)做出了很大貢獻(xiàn)。為適應(yīng)檢漏口壓強(qiáng)的變化和對(duì)靈敏度要求的不同,分子泵一般采用多級(jí)構(gòu)造和幾種不同的轉(zhuǎn)速。

例如:瑞士、日本采用改變分子泵轉(zhuǎn)速來(lái)達(dá)到此目的,且提高檢漏靈敏度。

另外,逆擴(kuò)散檢漏方式,實(shí)現(xiàn)了高壓強(qiáng)下檢漏,也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。






氦質(zhì)譜檢漏儀在消防器材檢漏應(yīng)用一

消防器材鋼瓶檢漏原因      

滅火器屬于特殊器材,在發(fā)生火災(zāi)的情況下使用,所以一般都會(huì)閑置,但是裝有滅火材料的鋼瓶瓶里有 2.5 MPa 壓力,如果鋼瓶有漏(鋼瓶自身的焊縫,閥門(mén)處)的話(huà),尤其是小漏時(shí),這時(shí)就會(huì)出現(xiàn)很大的隱患,所以在出廠前,生產(chǎn)商要做嚴(yán)格的檢漏工序,用以避免在運(yùn)輸或存放時(shí)的泄露隱患。氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。

以上是由北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司發(fā)表內(nèi)容,如有需要,歡迎撥打圖片上的熱線(xiàn)電話(huà)!




氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理

  氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì),其基本原理是根據(jù)離子在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí),不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來(lái)實(shí)現(xiàn)不同種類(lèi)離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。其工作原理是在高壓輸出中如遇雷擊,氧化鋅片電阻變小,大電流對(duì)地短路,輸電線(xiàn)路被保護(hù)。檢漏工作時(shí)先打開(kāi)抽空閥前級(jí)泵對(duì)檢漏接口抽真空,當(dāng)真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時(shí),打開(kāi)入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測(cè)出來(lái),此時(shí)檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級(jí)泵繼續(xù)對(duì)檢漏接口抽真空,當(dāng)P1降至20 Pa 時(shí),入口閥2 關(guān)閉,入口閥3 打開(kāi),分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間縮短,此時(shí)檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。

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真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的原理與系統(tǒng)特點(diǎn)

真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的充氣回收檢漏系統(tǒng)

1.配置與氣路控制

真空箱:一般為雙工位,兩個(gè)不銹鋼真空箱,開(kāi)門(mén)裝置可采用液壓方式,或加配重的手動(dòng)方式。

工件抽空系統(tǒng):低真空泵及閥門(mén),低真空測(cè)量充氮與回收系統(tǒng):氦氣儲(chǔ)存罐(高壓罐),氦氣回收取罐(低壓罐),主壓縮機(jī),輔壓縮機(jī),過(guò)濾器以及一些高壓閥和真空閥門(mén)等。

真空箱抽氣系統(tǒng):為自動(dòng)控制型,由面板、PLC系統(tǒng)(可編程邏輯控制器),充氦回收系統(tǒng),真空箱抽氣系統(tǒng)的電路部分以及為自動(dòng)檢漏過(guò)程提供參考信號(hào)的壓力傳感器和熱偶計(jì),同時(shí),實(shí)施對(duì)整個(gè)系統(tǒng)的工作控制,對(duì)檢漏過(guò)程和結(jié)果顯示。

2.系統(tǒng)檢測(cè)過(guò)程

1)、通過(guò)v1、V4,泵系統(tǒng)對(duì)工件和真空箱抽真空,如果限定的時(shí)間內(nèi)抽到限定的真空度,此時(shí),電氣控制系統(tǒng)關(guān)閉V1,打開(kāi)V2

2)、充氦系統(tǒng)通過(guò)V2對(duì)工件進(jìn)行充氦至核定的壓力,穩(wěn)定,關(guān)閉V2

3)、關(guān)閉V4,打開(kāi)V3、V5,處在正常工作狀態(tài)待命的氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行檢漏,如果不漏,電氣控制系統(tǒng)指揮關(guān)斷V3、V5,打開(kāi)V2對(duì)氦氣進(jìn)行回收。

4)、關(guān)閉V2打開(kāi)V6對(duì)真空箱放氣,開(kāi)啟真空箱更換工件。

5)、如果第三點(diǎn)檢漏儀檢測(cè)到超過(guò)設(shè)定值(漏率)的工件,檢漏儀聲光報(bào)警,將:工作內(nèi)的氦氣回收,對(duì)真空箱和管道巾的氦氣通過(guò)清潔泵抽除,免得影響檢漏儀的檢測(cè)效果和不污染檢漏儀。

6)、維持泵有一定的氦分流作用,不宜過(guò)大(不超過(guò)41),清潔泵也同樣。

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